洁净室检测标准
洁净室检测标准是指在洁净室生产工作中，要求空气和工作表面洁净度的定量指标，主要包括空气中微粒（悬浮颗粒、痕量粒子）、细菌等污染物的含量，工作表面洁净度等，通过对洁净室污染物和洁净度指标的测定，从而评估洁净室本身的洁净度和污染控制水平。
一、微粒（悬浮颗粒和痕量粒子）的含量限制：
1、悬浮颗粒：洁净室的空气中的悬浮颗粒的数量一般应在≤3.5个/cm3，粒径在0.5μm以上的小颗粒数量一般应在0.5μm至5μm的范围内≤1.5个/cm3。
2、痕量粒子：痕量粒子的测试可分为实时痕量粒子监测和实验室痕量粒子检测，其结果一般应控制在0.5μm至5μm之间≤0.25个/cm3。
二、空气污染物含量限制：
洁净室空气中有害物质的浓度一般应满足以下限值：
(1) 氨气（NH3）的浓度不应超过0.05ppm。
(3) 粉尘（尘埃中的有机物及其他杂质）的浓度不应超过1.0×103 (μg/m3克/立方米)。
三、细菌污染限制：
洁净室内细菌数一般应控制在20~ 200cfu/m3之间。
四、静电场强度限制：
1、托盘、表、间传输月台等物品表面上静电场能量一般应小于2.0 KV/m。
3、洁净室内每12个小时内瞬时值平均值（EAV）应小于200 V/M。
五、工作表面洁净度限制：
1、工作表面上有悬浮颗粒的数量一般应控制在200个/cm2以下。
3、工作表面上脏污物的清洁度应小于150μg/cm2以下。
六、除尘效率限制：
洁净室的除尘效率一般应大于99.9%，其中0.3μm的除尘率应大于99.5%，0.5μm的除尘率应大于99.5%，0.7μm的除尘率应大于98.5%，1.0μm的除尘率应大于98.5%。
七、洁净室压差限制：
所有洁净室的压差限制通常在10Pa 以内，不应出现负压和正压压差超过10Pa的情况。
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