十级无尘室标准
十级无尘室标准
无尘室是一种特殊的洁净环境,主要用于电子、半导体、医药等行业的生产和实验。十级无尘室是其中等级较高的一种,要求更加严格。
一、空气洁净度
十级无尘室的空气洁净度要求达到ISO 14644-1标准中的Class 7级别,即每立方米空气中不得超过3500个0.5微米以上的颗粒物。
二、通风系统
1. 空气流速:通风系统应保证适当的空气流速,一般在0.2-0.5米/秒之间。
2. 滤网:通风系统应配备高效过滤器,过滤效率不得低于99.99%。
3. 循环方式:通风系统采用上送式循环方式,并设置回风口和排风口。
4. 温度湿度控制:通风系统应能够控制温度和湿度,并保持稳定。
三、地面
十级无尘室地面应平整光滑,材质为防静电PVC或Epoxy地坪,颜色为灰色或浅蓝色。地面周围应设有防尘挡板。
四、墙壁和天花板
1. 材质:墙壁和天花板应采用高密度防静电彩钢板或不锈钢板。
2. 清洁:墙壁和天花板应保持清洁,不得有积尘、脏污等杂物。
3. 封闭性:墙壁和天花板应具有良好的封闭性,无裂缝、缝隙等。
五、进出口
1. 进出口室门:进出口室门应为双门或气帘式门,并设置自动关闭装置。
2. 活动门:活动门应为自动开启、关闭的无触点感应式门,避免人员接触并减少空气污染。
六、照明设备
十级无尘室的照明设备应符合防静电要求,灯具表面不得有静电积聚。灯具数量要足够,以保证照明充足。
七、人员要求
1. 穿戴:进入无尘室前必须更换专用工作服和鞋套,并佩戴帽子和口罩。
2. 体检:所有进入无尘室的人员必须进行身体检查,并定期进行健康检查。
3. 培训:所有进入无尘室的人员必须接受相关培训,了解无尘室的操作规程和注意事项。
八、设备要求
1. 设备清洁:所有进入无尘室的设备必须经过清洁处理,保证表面无尘污和杂物。
2. 静电控制:所有进入无尘室的设备必须具有防静电措施,避免静电积聚和放电。
九、检测要求
十级无尘室应定期进行空气质量检测和微生物检测,并记录检测结果。出现异常情况时应及时采取措施处理。
十、清洁要求
1. 清洁周期:十级无尘室应按照规定周期进行清洁,一般为每周一次。
2. 清洁方法:清洁应采用特殊的工具和方法,不能使用带有纤维或毛发的清洁工具。
3. 清洁剂选择:清洁剂应为专用的低离子型或非离子型清洗剂,并按照使用说明进行使用。
以上是十级无尘室标准的详细内容,严格遵循这些标准可以保证无尘室的洁净度和安全性,为生产和实验提供良好的环境保障。

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